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  • 工程業績
    工業超純水制備系統

        針對大規模集成電路、精密電子工業、科研等需要的超純水制備系統，采用全膜法處理設計，根據使用點水質的不同要求，采用“盤濾＋超濾 + 反滲透（Ⅰ）+反滲透（Ⅱ）+CEDI+拋光混床” 的超純水制備工藝流程。

     
    100m³/h半導體工業用超純水系統